VIGOR Producto Express|Interruptor de flujo serie VEFS2

Impulsada por la inteligencia artificial, la informática de alto-rendimiento (HPC), la electrónica automotriz y las aplicaciones de Internet de las cosas, la industria de los semiconductores está experimentando una rápida transformación. Sin embargo, este notable crecimiento también ha introducido nuevos desafíos operativos. A medida que las escalas de producción se expanden a un ritmo sin precedentes, los gases especiales de alto riesgo, como el silano y la fosfina, se utilizan ampliamente en las fábricas de semiconductores. Cualquier fuga de gas incontrolada causada por la ruptura de una tubería, accesorios sueltos, fallas en los sellos o una instalación inadecuada puede convertirse rápidamente en un incidente de seguridad grave, amenazando la seguridad del personal, dañando equipos de producción críticos y provocando costosos tiempos de inactividad no planificados. En este contexto, el interruptor de exceso de flujo (EFS) de VIGOUR, con su diseño de accionamiento puramente mecánico y su excepcional compatibilidad con pureza ultra-alta-(UHP), se ha convertido en una protección de seguridad indispensable para los sistemas de suministro de gases especiales, incluidos los gabinetes de gas y los VMB, en líneas de fabricación de semiconductores en todo el mundo.

El principio de diseño central de VIGOR EFS es detectar condiciones de flujo anormales y responder de manera confiable. Cuando una falla en una tubería aguas abajo resulta en un aumento repentino y excesivo del flujo que excede el punto de disparo crítico pre-establecido, el dispositivo activa inmediatamente una señal de respuesta. Esta señal se transmite a través de la apertura o cierre de contactos eléctricos en el interruptor de láminas incorporado-, que luego se sincroniza y se envía al sistema SCADA o al Sistema de Monitoreo de Gas (GMS). Al proporcionar alertas-en tiempo real y permitir respuestas automatizadas rápidas, respalda la gestión proactiva de la seguridad, mitiga eficazmente los peligros potenciales y fortalece la confiabilidad general de la red de suministro de gas.

En los procesos de fabricación de semiconductores, cada componente del sistema de gas puede convertirse en una fuente potencial de contaminación. Incluso las partículas más pequeñas, las impurezas metálicas o la adsorción superficial pueden comprometer la calidad de las obleas y reducir el rendimiento de la producción. Por lo tanto, VIGOR se adhiere estrictamente a los estrictos estándares de la industria de semiconductores para garantizar la pureza del material, la limpieza de la superficie y la estabilidad operativa.

En términos de estándares de materiales, VIGOR utiliza exclusivamente acero inoxidable 316L producido mediante tecnología de doble-fusión VIM/VAR. Este avanzado proceso metalúrgico reduce significativamente las inclusiones metálicas y las impurezas residuales, asegurando una excelente resistencia a la corrosión y minimizando el riesgo de contaminación por gas. Para el tratamiento de la superficie, todos los productos se someten a un electropulido (EP) avanzado, manteniendo una rugosidad de la superficie interna de 5 a 10 μin. Un interior tan suave y limpio evita que las moléculas de gas se absorban en las paredes internas y elimina la precipitación de partículas, lo que favorece un suministro de gas estable y libre de contaminación-.

Además, VIGOR EFS ofrece una amplia selección de puntos de disparo críticos y opciones de configuración flexibles para adaptarse a diversos escenarios de aplicación. A través de una simple coincidencia de parámetros, los usuarios pueden determinar fácilmente el modelo preciso en función de tipos de gas específicos, condiciones de presión de funcionamiento y caudales máximos permitidos. Este alto grado de personalización garantiza una protección contra sobreflujo precisa y confiable para diversas aplicaciones de gas de pureza ultra-alta-en la fabricación de semiconductores modernos.

  Interruptor de flujo para aplicaciones de alto flujo

 Disponible con línea principal horizontal o vertical

 Caída de presión mínima a través del dispositivo.

 Acero inoxidable SS 316L