INTEGRATED GAS SYSTEM>>Intercambio de series de productos IGS
VIGOR proporciona sistemas de gas integrados (IGS) avanzados diseñados específicamente para el control de gases de alta-pureza en la industria de fabricación de semiconductores. Nuestras soluciones combinan ingeniería innovadora con estrictos estándares de fabricación para garantizar confiabilidad, compacidad y rendimiento superior en aplicaciones críticas.
Características del producto
- Utilizado para el control de gas en la industria de semiconductores.
- Diseño modular
- Todos los componentes están montados en superficie de acuerdo con el estándar SEML.
- El tamaño es aproximadamente 1/3 del panel tradicional.
- Material estándar SEMl, proceso de electropulido y soldadura orbital.
- Sello W y C-sello opcional
- Doble embolsado en sala limpia
- Todos los productos, excepto los "soportes", se fabrican de acuerdo con la especificación del proceso VS001A.
Reguladores de presión IGS Serie VIR
1. Máx. Presión de trabajo: 150 psig
2. Máx. Temperatura de trabajo: -40 grados F ~ 140 grados F (-40 grados ~ 60 grados)
3. Presión de salida: 0~100 psig
4. El acabado de la superficie: Max. 5uin. Real academia de bellas artes
5. Material: 316L VIM-VAR
6. Asiento de válvula: PCTFE (PFA/Vespel opcional)
7. Capacidad de flujo: Cv=0.08
Válvulas de diafragma IGS Serie VID
1. Máx. Presión de trabajo: 150 psig
2. Máx. Temperatura de trabajo: PCTFE 14 grados F ~ 176 grados F (-10 grados ~ 80 grados); PFA 14 grados F ~ 302 grados F (-10 grados ~ 150 grados)
3. Diseño sin callejón sin salida
4. La superficie húmeda se trata con EP, Max. 5uin. Real academia de bellas artes.
5. Material: 316L VIM-VAR
6. 100% de helio-fugas-probadas
7. Capacidad de flujo: Cv=0.1
Válvulas de control de flujo IGS Serie VIM
1. Máx. Presión de trabajo: 150 psig
2. Máx. Temperatura de trabajo: 14 grados F ~ 302 grados F (-10 grados ~ 150 grados)
3. Sellado: FKM
4. La superficie húmeda se trata con EP, Max. 5uin. Real academia de bellas artes
5. Capacidad de flujo: Cv=0.03
Válvulas de retención IGS Serie VICV
1. Máx. Presión de trabajo: 150 psig
2. Máx. Temperatura de trabajo: 14 grados F ~ 176 grados F (-10 grados ~ 80 grados)
3. Acabado de la superficie: Máx. 5uin. Real academia de bellas artes
4. Presión de apertura: 0,33 psig
5. Capacidad de flujo: Cv=0.2
Sustratos Serie VlB (C-seal)
1. C-sello
2. Instalación no-fija para garantizar el efecto de sellado
3. La parte húmeda se trata con EP.
4. El acabado superficial: Max. 5uin.Ra
5. Material: 316L VIM-VAR
Serie de productos principales
- Reguladores de presión IGS (Serie VIR)
- Válvulas de diafragma IGS (Serie VID)
- Válvulas de control de flujo IGS (Serie VIM)
- Válvulas de retención IGS (Serie VICV)
- Sustratos y soportes IGS (Serie VIB)
- Juntas (Serie VIG)
¿Por qué elegir VIGOR IGS?
Nuestros sistemas representan una sinergia de ingeniería de precisión y diseño práctico, ofreciendo:
- Eficiencia espacial: Tamaño del panel drásticamente reducido.
- Pureza ultra-alta: materiales y procesos diseñados para aplicaciones de grado semiconductor-.
- Flexibilidad modular: fácil de configurar, ampliar y mantener.
- Fiabilidad comprobada: pruebas rigurosas y cumplimiento de estándares SEMI-.
En VIGOUR, ofrecemos más que solo componentes:-brindamos soluciones integradas que hacen realidad sus ideas con confianza y precisión.
